半導體百級無塵烤箱

型號：	EVC150L
更新時間：	2023-12-19

Class 100百級潔凈無塵烘箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

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產品詳細資料：

一、半導體無塵烤箱設備用途:
半導體無塵烤箱Class 100百級潔凈無塵烘箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

二、半導體無塵烤箱產品特點：
1、在普通環境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100級；
2、內膽四周氬弧焊，耐高溫硅膠密封，SUS304#不銹鋼加熱器，防機臺本身所產生微塵；
3、采平面水平送風后經美國進口H.E.P.A Filter裝置往前 (特殊風道設計)方向送風，過濾效率99.99%，Class 100排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)
4、箱內空氣封閉強制自循環，經耐高溫空氣過濾器反復過濾，使干燥箱工作室內處于無塵狀態。水平循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統，溫度控制精度。
5、配壓差計隨時了解過濾器工作狀態。

三、半導體無塵烤箱潔凈度100級的潔凈熱處理：
HEPA高效過濾器與前出風型水平層流循環方式實現并保證箱內的溫度分布的均勻性與Class 100級潔凈度小限度控制風速距離。

三、技術參數：

設備型號		EVC 150L□	EVC 320L□	EVC640L□	EVC 270L2【雙層】
內箱尺寸WDH mm		500×500×600	600×600×900	800×800×1000	700×700×500
外型尺寸WDH mm		以實物為準(溫度不同外箱尺寸不同)
工作溫度范圍		A: 250℃ B: 300℃
潔凈度		Class 100級（可定制Class 1000級，Class 10000級）
性能	解析精度	0.1℃
	分布均勻度	±2.5℃%
材質	外部材質	SPCC鋼板粉體烤漆處理
	內部材質	SUS﹟304鏡面不銹鋼板
	隔熱材質	玻璃纖維棉/陶瓷纖維棉
	密封材料	硅橡膠
加熱方式		熱風循環加熱/自然對流加熱/熱輻射加熱
加熱系統		不銹鋼高速加熱器
計時器		0.1S～9999H
溫控器		普通數顯溫控型/觸摸屏PLC程序控制器
其它配件		多層強化玻璃視窗（260℃以內），隔層置物架（兩片）
安全裝置		電路系統負載保護，風機過載保護，溫到計時時到斷加熱，故障警示燈
選配件		溫度記錄儀；②推車；③測試孔（Φ25mm）；④可選裝充氮功能（N²）
設備電源		AC 220V或380V 50HZ
備注：1、以上數據均在環境溫度（QT）25℃.工作室無負載條件下測得。 2、可依客戶要求制作，滿足客戶的要求。本技術信息，如有變動恕不另行通知

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